配置與參數(shù)

1. **爐管**

- ≤1200℃：高純石英管（透明，便于觀察樣品）

- 1200~1700℃：99 高純剛玉管（耐高溫，不透明）

- 兩端真空法蘭：不銹鋼 KF 法蘭，金屬 / 氟橡膠密封，真空密封性強(qiáng)，區(qū)別普通氣氛爐簡(jiǎn)易法蘭

2. **加熱元件**

- ≤1200℃：鎳鉻 / 鐵鉻鋁電阻絲

- 1400℃：硅碳棒

- 1600~1700℃：硅鉬棒

3. **真空系統(tǒng)**

- 低真空：機(jī)械旋片泵（可達(dá) 10?1 Pa）

- **高真空組合：機(jī)械泵 + 分子泵**，極限真空可達(dá) 10?3 ~ 10?? Pa

- 配套：真空規(guī)管、真空壓力表、真空閥門(mén)、放氣閥；可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)爐管內(nèi)真空度

4. **溫控系統(tǒng)**

PID 可編程溫控儀表 / 觸摸屏，多段程序升溫保溫；熱電偶測(cè)溫，帶超溫、斷偶保護(hù)；升溫速率 0.1~10℃/min 可調(diào)

5. **氣氛模塊**

真空置換完成后，可回充惰性保護(hù)氣體（N?、Ar），實(shí)現(xiàn)**真空→氣氛**兩種工藝切換

工作原理

1. 樣品放入爐管，鎖緊兩端 KF 真空法蘭，形成密閉腔體；

2. 先開(kāi)啟機(jī)械泵預(yù)抽，抽出爐管內(nèi)大部分空氣；

3. 達(dá)到預(yù)真空后啟動(dòng)分子泵，繼續(xù)抽取氣體，獲得高真空環(huán)境；

4. 溫控系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)加熱元件發(fā)熱，在高真空環(huán)境下對(duì)樣品熱處理；

5. 工藝結(jié)束，降溫到安全溫度，緩慢打開(kāi)放氣閥破真空，取出樣品；

>

> 可選工藝：抽至高真空保溫一段時(shí)間，再關(guān)閉真空泵，回充保護(hù)氣體，轉(zhuǎn)為氣氛燒結(jié)。

主要應(yīng)用領(lǐng)域

1. **金屬材料**：金屬粉末、鈦合金、銅、鎳基小樣真空退火、真空光亮燒結(jié)，避免氧化

2. **新能源與陶瓷**：固態(tài)電解質(zhì)、陶瓷粉體真空脫氣、真空燒結(jié)；鋰電材料真空熱處理

3. **炭材料**：碳膜、石墨烯、碳納米管真空碳化，減少雜質(zhì)污染

4. **半導(dǎo)體與薄膜**：薄膜真空退火、CVD 氣相沉積、樣品脫氣處理

5. **科研小樣**：無(wú)機(jī)粉體、熒光粉、晶體在無(wú)氧氣環(huán)境下高溫固相反應(yīng)